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真空測量校準標準裝置

一、主要用途：用于中、低真空測量系統的現場校準。二、技術指標：1、系統極限真空度8×10-5Pa，，且在一分鐘內壓力穩定度偏差不超過±2%。2、系統漏率不大于10-8PaL/S。3、系統的真空壓力調節范圍：5×10-1Pa～1×105Pa，且連續可調。4、系統在任意一設定真空壓力點達到平衡，時間不大于4分鐘，且在一分鐘內壓力穩定度偏差不超過±2%。5、真空校準裝置的總不確定度不大于15%。6、校準

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一、主要用途：用于中、低真空測量系統的現場校準。
二、技術指標：
1、系統極限真空度8×10-5Pa，，且在一分鐘內壓力穩定度偏差不超過±2%。
2、系統漏率不大于10-8PaL/S。
3、系統的真空壓力調節范圍：5×10-1Pa～1×105Pa，且連續可調。
4、系統在任意一設定真空壓力點達到平衡，時間不大于4分鐘，且在一分鐘內壓力穩定度偏差不超過±2%。
5、真空校準裝置的總不確定度不大于15%。
6、校準室的形狀為球體或高度與內徑之比為1～3的圓柱體。
7、標準規管接口2個，被測規管接口3個。規管的安裝位置在球赤道位置或圓柱體1/2高度的同一水平面上。
三、系統組成：主要由真空校準室系統、真空抽氣系統、烘烤系統、可移動安裝操作臺系統、標準和被校規管安裝系統、電控系統、輔助系統、備品備件、氣源、被校真空計等組成。
 
 
 
 
 
 
 

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