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真空高溫烘烤除氣系統設備研制
主要技術指標：1.系統空載極限真空度≤5×10-5Pa,（冷態）；2.工作真空度≤5×10-4Pa（700℃）；3.主泵采用萊寶磁懸浮分子泵作為主抽氣系統，前級泵采用萊寶渦旋泵，實現無油抽氣系統；系統帶有旁抽系統，手動閥門。4.最高加熱溫度：700℃；溫度均勻性±5℃（200℃～700℃），控溫精度：±1℃；5.爐膛有效空間（有效均溫區）≥?250×420mm；6.鼠籠式鉬片加熱器，五層屏蔽結構，
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主要技術指標：
1. 系統空載極限真空度≤5×10-5Pa,（冷態）；
2. 工作真空度≤5×10-4Pa（700℃）；
3. 主泵采用磁懸浮分子泵作為主抽氣系統，前級泵采用渦旋泵，實現無油抽氣系統；系統帶有旁抽系統，手動閥門。
4. 最高加熱溫度：700℃；溫度均勻性±5℃（200℃～700℃），控溫精度：±1℃；
5. 爐膛有效空間（有效均溫區）≥Ø250×420mm；
6. 鼠籠式鉬片加熱器，五層屏蔽結構，鉬工件托盤；
7. 加熱方式采用三區加熱、獨立測溫控溫方式，PID智能溫控儀多段程序控溫；采用低電壓大電流加熱電源。
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