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超真空CVD系統
一、主要用途：???用途保密。二、技術指標：???1、極限真空度：≤2×10-5Pa；分子泵抽氣機組；???2、石英管外徑φ150mm，石英管長度800mm；石英管一個；???3、進氣管路兩套，一路從樣品正上方傾斜噴淋，另一路從樣品側面水平噴淋；???4、石墨樣品托一套，石英保溫層一套；???5、線圈由甲方自備；???6、電控系統一套；???7、紅外測溫過渡室一套、取放樣室一套。三、系統組成：??
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詳細介紹
一、主要用途：
用途保密。
二、技術指標：
1、極限真空度：≤2×10-5Pa；分子泵抽氣機組；
2、石英管外徑φ150mm，石英管長度 800 mm；石英管一個；
3、進氣管路兩套，一路從樣品正上方傾斜噴淋，另一路從樣品側面水平噴淋；
4、石墨樣品托一套，石英保溫層一套；
5、線圈由甲方自備；
6、電控系統一套；
7、紅外測溫過渡室一套、取放樣室一套。
三、系統組成：
該系統主要由真空抽氣及測量系統、石英加熱爐系統、壓力控制系統、氣體流量控制系統、感應加熱及測溫系統（用戶自備）、電控系統及輔助系統組成。
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