等離子體滲氮實(shí)驗(yàn)爐

一、主要用途：保密。二、技術(shù)指標(biāo)：1、真空室采用不銹鋼立式鐘罩式結(jié)構(gòu)，真空室內(nèi)徑尺寸為Ф400×450mm；真空室上部設(shè)置Ф200預(yù)留法蘭；2、系統(tǒng)極限真空度優(yōu)于5×10-6Pa，工作前的靜真空5×10-5Pa；設(shè)備總漏率小于10-7Pa.L/S，恢復(fù)真空時間小于3小時；3、配備4kW的加熱電源及溫度控制器一套，對真空室進(jìn)行加熱控溫，配置鎧裝熱電偶對真空室溫度進(jìn)行測量，測溫最高加熱溫度300℃±1

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產(chǎn)品分類：

PECVD

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詳細(xì)介紹

一、主要用途：保密。

二、技術(shù)指標(biāo)：
1、真空室采用不銹鋼立式鐘罩式結(jié)構(gòu)，真空室內(nèi)徑尺寸為Ф400×450mm；真空室上部設(shè)置Ф200預(yù)留法蘭；
2、系統(tǒng)極限真空度優(yōu)于5×10-6Pa，工作前的靜真空5×10-5Pa；設(shè)備總漏率小于10-7Pa.L/S，恢復(fù)真空時間小于3小時；
3、配備4kW的加熱電源及溫度控制器一套，對真空室進(jìn)行加熱控溫，配置鎧裝熱電偶對真空室溫度進(jìn)行測量，測溫最高加熱溫度300℃±1℃；
4、樣品尺寸為：Ф8～Ф30mm不等；
5、樣品可加熱溫度為：室溫～500℃，測溫探頭置于樣品臺陶瓷板預(yù)留孔內(nèi)，控溫精度為：±1℃；程序控溫，PID調(diào)解，可設(shè)可控；
6、10 kW中頻脈沖偏壓電源一套，頻率30-60kHz，占空比10-80%可調(diào)，最大電壓3kV，電壓可調(diào)；電源具有過流、過熱、缺水、打火保護(hù)及自動滅弧功能；
7、射頻電源，功率要求為2kW，通過射頻引入極引入真空室，射頻電源配置自匹配控制調(diào)節(jié)裝置；
8、真空供氣系統(tǒng)由三路質(zhì)量流量計組成。供氣系統(tǒng)三路進(jìn)氣，可實(shí)現(xiàn)不同氣體按比例供給，進(jìn)入真空室前混合充分；進(jìn)氣口設(shè)置為環(huán)真空室頂部，確保進(jìn)氣均勻；
9、設(shè)備具有斷水?dāng)嚯娐?lián)鎖保護(hù)功能；
10、射頻電極靶靶面水冷均勻，液氮冷阱確保使用方便安全；

三、系統(tǒng)組成：
該系統(tǒng)主要由真空室系統(tǒng)、加熱及控制系統(tǒng)、氣體控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、報警系統(tǒng)、臺架系統(tǒng)等組成。