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PECVD Ⅲ 等離子體增強管式氣相沉積設(shè)備
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1、反應(yīng)室：200×250（mm）為圓筒式雙層水冷不銹鋼結(jié)構(gòu)。正前面安裝一個150鉸鏈觀察窗（窗直徑50毫米）和擋板，同時，該窗口帶有鉸鏈結(jié)構(gòu)，以便進(jìn)行樣品的更換；
2、在真空室的正上方，安裝Rf電容耦合系統(tǒng)；
3、在真空室的正上方，通入一路混合反應(yīng)氣體，和液化后氣體，氣體引入口2個；
4、在真空室的正下方，安裝可升降式加熱樣品臺，基片臺接口1個；
5、CF 35 電極引入口1個，分子泵抽氣口1個.各法蘭密封口均采用氟橡膠圈和無氧銅圈密封。
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