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ZF- 450Ⅰ 蒸發鍍膜系統(光學鍍膜)
一、系統用途:保密。二、技術指標:?1、極限真空度:8×10-6Pa;系統漏率:6.7×10-7Pa.L/S;?2、蒸發源:2個,采用電阻蒸發舟的方式,至下向上蒸發鍍膜。蒸發舟與樣呂之間的距離為150~200mm;?3、蒸發舟最高溫度為:室溫~800℃,控溫精度:±1℃;室溫~1300℃,控溫精度:±2℃;功率:1KW;?4、樣品尺寸:100×50×(1~2)(厚)毫米,每次只鍍一個樣品,樣品可旋
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一、系統用途:保密。
二、技術指標:
1、極限真空度:8×10-6Pa;系統漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
2、蒸發源:2個,采用電阻蒸發舟的方式,至下向上蒸發鍍膜。蒸發舟與樣品之間的距離為150~200mm;
3、蒸發舟最高溫度為:室溫~800℃,控溫精度:±1℃;室溫~1300℃,控溫精度:±2℃;功率:1KW;
4、樣品尺寸:100×50×(1~2)(厚)毫米,每次只鍍一個樣品,樣品可旋轉加熱;
5、保證膜的牢固度,樣品在蒸鍍過程中,要加熱到200℃(最高溫度)。
三、系統組成:
主要由蒸發源及其電源、真空室、真空測量系統、真空抽氣系統、樣品臺及其擋板系統、控制單元等組成。
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