蒸發鍍膜機
蒸發鍍膜機一、設備目的:進行金屬配合物的鍍膜(主要指有機)。二、技術要求:1、鍍膜室:鍍膜腔室尺寸約為Φ220×280mm,不銹鋼材料,圓柱形前開門結構,內帶有防污板。2、抽氣系統:采用分子泵+機械泵抽氣系統;2.1、真空度:鍍膜室的極限真空≤6×10-4Pa;2.2、系統漏率≤1×10-7PaL/s。3、蒸發源系統:3.1、有機源蒸發源一個,容積5ml,一臺蒸發電源,可測溫控溫,加熱溫度400℃
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蒸發鍍膜機
一、設備目的:進行金屬配合物的鍍膜(主要指有機)。
二、技術要求:
1、鍍膜室:鍍膜腔室尺寸約為Φ220×280mm,不銹鋼材料,圓柱形前開門結構,內帶有防污板。
2、抽氣系統:采用分子泵+機械泵抽氣系統;
2.1、真空度:鍍膜室的極限真空≤6×10-4Pa;
2.2、系統漏率≤1×10-7PaL/s。
3、蒸發源系統:
3.1、有機源蒸發源一個,容積5ml,一臺蒸發電源,可測溫控溫,加熱溫度400℃,功率0.5Kw;
3.2、擋板:蒸發源擋板采用手動磁力控制方式,控制其開啟;
3.3、安裝:蒸發源安裝在真空室的下底上。
4、樣品架系統:
4.1、樣品架可放置大小為Φ50mm的樣品,載玻片;
4.2、樣品架可旋轉,旋轉速度為:0~30轉/分;
4.3、安裝:樣品安裝在真空室的上蓋上,蒸發源安裝在真空室的下蓋上,向上蒸發鍍膜,蒸發源都帶有擋板裝置。
5、樣品在鍍膜過程中,帶有烘烤加熱功能,最高烘烤加熱溫度為:室溫~180℃,測溫控溫。
6、設備帶有斷水斷電連鎖保護報警裝置、防誤操作保護報警裝置。
三、實施方案:
該設備主要由真空抽氣及測量系統、鍍膜室系統、蒸發源及控制系統、樣品臺系統、輔助系統、電控系統等組成。
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