真空管式爐

一、組成及功能介紹由沈陽騰鰲真空技術(shù)有限公司生產(chǎn)的TAZKSJL-1100型真空管式爐，設備主要由抽氣系統(tǒng)、石英管組件、過渡室系統(tǒng)、加熱爐系統(tǒng)、樣品架系統(tǒng)、電控系統(tǒng)等組成，具有在微波基板生產(chǎn)過程中，進行陶瓷基板退火處理、真空燒結(jié)的功能。二、性能指標 1、設備結(jié)構(gòu)形式：臥式，單工位樣品尺寸80mm×80mm×1mm，一次最大可處理100片。 2、控制方式：手動。 3、真空度指標： 3.1、主機系統(tǒng)空載極限真空度：6.7×10-5Pa； 3.2、真空抽速：分子泵正常工作后，系統(tǒng)40分鐘后，真空度進入10-4Pa。 4、加熱系統(tǒng)： 4.1、加熱爐（外加熱）最高加熱溫度：1100℃。 4.2、均溫區(qū)約為Φ150mm×600mm；加熱到800℃，恒溫60min后，溫度均勻性達到±5℃。 4.3、爐管采用石英管材料，內(nèi)徑尺寸約為：Φ150mm×1610mm。 5、加熱方式：外加熱方式對石英管進行加熱。

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產(chǎn)品分類：

管式爐

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一、組成及功能介紹

由沈陽騰鰲真空技術(shù)有限公司生產(chǎn)的TAZKSJL-1100型真空管式爐，設備主要由抽氣系統(tǒng)、石英管組件、過渡室系統(tǒng)、加熱爐系統(tǒng)、樣品架系統(tǒng)、電控系統(tǒng)等組成，具有在微波基板生產(chǎn)過程中，進行陶瓷基板退火處理、真空燒結(jié)的功能。

二、性能指標

1、設備結(jié)構(gòu)形式：臥式，次最大可處理100片。

2、控制方式：手動。

3、真空度指標：

3.1、主機系統(tǒng)空載極限真空度：6.7×10^-5Pa；

3.2、真空抽速：分子泵正常工作后，系統(tǒng)40分鐘后，真空度進入10^-4Pa。

4、加熱系統(tǒng)：

4.1、加熱爐（外加熱）最高加熱溫度：1100℃。

4.2、均溫區(qū)約為Φ150mm×600mm；加熱到800℃，恒溫60min后，溫度均勻性達到±5℃。

4.3、爐管采用石英管材料。

5、加熱方式：外加熱方式對石英管進行加熱。

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