產品介紹
PRODUCTS
詳細介紹
技術指標：
1、系統極限真空度 ≤5×10-5Pa(冷態)
2、工作真空度 ≤5×10-4Pa(溫度≥200℃)
3、系統漏率 5×10-11Pa.m3/s
4、最高加熱溫度 850℃
5、升溫速率 0.5～10℃/min可調可控
6、降溫速率 250℃以上0.5～5℃/min可調可控，250℃以下自然降溫
7、均溫區范圍 ≥φ1000mm×200mm
8、溫度均勻性 ≤±3℃（均溫區范圍內）
9、控溫精度 ≤±1℃（均溫區范圍內）
10、真空室內徑 ≥φ1300mm
11、真空室有效高度 ≥300mm
12、工件支撐盤尺寸 ≥Φ1000mm×10mm；（工件盤上方至真空室頂部的圓柱形區域內不能有任何障礙物。）
13、鐘罩降下后工件盤距真空室頂部高度 ≥300mm
14、鐘罩升起后工件盤上端距離鐘罩下端高度 ≥300mm
15、鐘罩提升至最高位置時總高度 ≤2450mm
16、臺面高度 ≤1000mm
17、抽速 真空室暴露大氣后，抽至5×10-4Pa所需時間≤1h
18、功耗 ≤45kW
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