產品介紹
PRODUCTS
詳細介紹
抽氣單元:采用干泵及分子泵組合抽氣式,干泵抽速>10L/s,分
子泵抽速>600 L/s;
極限真空:系統極限真空度≤6.7x10-5Pa,從一個大氣壓(充入干燥氮氣,不打開真空室)抽至6.7x10-4Pa 的時間≤2 h;
系統漏率:≤5x10-7Pa·L/s。

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